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直徑高達2.4毫米的集成MEMS振鏡是單片制造的，作為無萬向節(jié)執(zhí)行器設(shè)備結(jié)構(gòu)的集成部分。它們是硅芯片的中心區(qū)域，與周圍的靜電致動器共享相同的微細加工步驟。這些鏡子由相同的可用硅層構(gòu)成，具有幾乎完全平坦和光滑的硅表面。在四個側(cè)面，鏡子連接到提供兩軸運動的雙軸連桿。自2016年以來，我們不斷庫存具有以下直徑的集成反射鏡的設(shè)備：0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有庫存的集成反射鏡都涂有純鋁，可在非常寬的波長范圍內(nèi)提供高反射率。金金屬化可以在晶圓規(guī)模上進行，因此可用于更大的生產(chǎn)訂單。

鏡子尺寸：0.8毫米、1.2毫米、1.6毫米、2.0毫米和2.4毫米直徑庫存。

點對點驅(qū)動下的最大傾斜角：-6°至+6°機械每個軸，因設(shè)計類型而異。

共振驅(qū)動下的最大傾角：-7°至+7°機械

單軸選項：大多數(shù)設(shè)計都可以提供純單軸運動。

表面粗糙度：<10 nm rms

驅(qū)動方法：靜電驅(qū)動，使用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驅(qū)動器

鏡面曲率半徑：>5 m

鏡面涂層：鋁或金

位置重復性：室溫下優(yōu)于0.001°（1毫度）

工作溫度：MEMS Mirror工作溫度：-40°C至125°C（具體產(chǎn)品規(guī)格取決于封裝）

光學窗口：抗反射涂層熔融石英窗口。可拆卸的。

A型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm雙面增透膜，AOI 22.5°

B型：熔融石英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm雙面增透膜，AOI 22.5°

C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm雙面增透膜，AOI 22.5°

*客戶特定波長和AOI可用于100件以上的數(shù)量。

光功率處理：高達2W任何鏡子，任何波長。2W以上取決于反射鏡尺寸、鍍膜和波長。例如。3W CW藍色或綠色在2毫米或更大的鏡子上。

第一共振旋轉(zhuǎn)頻率：對于小鏡子尺寸的兩個軸>3 kHz，對于2.0mm尺寸的>1.2kHz等。

傾斜角是模擬的，而不是開關(guān)

這是不能用于任意方向光束控制的數(shù)字微鏡元件的關(guān)鍵區(qū)別。換句話說，如果需要6.15°的傾斜角，只需施加正確的電壓，即可獲得該角度（或任何其他角度）并將其保持任何時間長度，而功耗幾乎為零。

點對點掃描

這些設(shè)備針對點對點光束掃描操作模式進行了設(shè)計和優(yōu)化。穩(wěn)態(tài)模擬驅(qū)動電壓導致微鏡的穩(wěn)態(tài)模擬旋轉(zhuǎn)角。電壓和角度之間存在一一對應的高度可重復性。還提供了許多諧振型掃描MEMS反射鏡設(shè)計，用于視頻投影和高速成像，例如48000行/秒。

動態(tài)模式掃描

設(shè)備還可以在動態(tài)、諧振模式下運行。在這種模式下，接近共振頻率的低驅(qū)動電壓會導致較大的雙向光束角（例如-16°到16°）。 對于MEMS顯示器應用，諧振頻率范圍從幾kHz到24 kHz甚至更高。 共振取決于致動器類型（系列）以及微鏡類型和直徑。

高速點對點光束掃描

我們專有的無云臺設(shè)計的主要優(yōu)勢是能夠在兩個軸上以同樣高的速度掃描光束。具有0.8 mm直徑大小的微鏡的典型設(shè)備可實現(xiàn)高達500 rad/s的角光束掃描，并且在兩個軸上的第一諧振頻率約為4 kHz。<100 μs的大角度階躍響應建立時間已在具有直徑達0.8 mm的微鏡的設(shè)備上得到證明。 具有2.0毫米直徑反射鏡的設(shè)備可以實現(xiàn)小于1毫秒的大角度步進穩(wěn)定時間，第一諧振頻率約為1.3 kHz。

模塊化設(shè)計

為了生產(chǎn)具有不同鏡面尺寸的設(shè)備，大多數(shù)技術(shù)不僅需要新的制造周期，而且在某些情況下還需要完成致動器的重新設(shè)計。Mirrorcle Technologies是全球唯一一家提供基于MEMS的可定制孔徑尺寸光束控制技術(shù)的供應商。 即，在自對準硅制造工藝中設(shè)計和實現(xiàn)了針對速度、角度、面積足跡或諧振驅(qū)動優(yōu)化的靜電致動器組。 金屬化、超低慣性單晶鏡通過特殊的硅梁設(shè)計而變得堅硬和平坦，是在單獨的制造過程中創(chuàng)建的。 反射鏡的直徑和幾何形狀是針對給定應用選擇的，以優(yōu)化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權(quán)衡。 隨后將鏡子粘合到致動器上。

有多種無萬向節(jié)兩軸致動器設(shè)計可供選擇。執(zhí)行器本身就適用于模塊化設(shè)計方法。每個致動器可以使用任意長度的旋轉(zhuǎn)器、任意剛性連桿和任意定位的機械旋轉(zhuǎn)變壓器。庫存類別包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在大多數(shù)情況下，由于增加的靜電力，較大的芯片尺寸可以提供更好的性能。 除了芯片尺寸之外，其他參數(shù)也有所不同，例如 剛性。 例如，一個設(shè)備系列設(shè)計為在大角度（-7.5°到+7.5°機械傾斜）下運行，而另一個系列設(shè)計為在小尖端傾斜角度但顯著更高的速度下運行（-1.0°到+1.0°機械傾斜）。